檢索結果:共7筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and cdept.raw="材料科學與工程系"
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在本研究中利用微影製程技術製備出奈米結構光阻在矽晶片上,並使用磁控射頻濺鍍分別濺鍍不同厚度之鋯基金屬玻璃薄膜,探討晶片上之光阻與鍍膜去除光阻後鋯基金屬玻璃之奈米結構之光柵現象與親疏水性質。 …
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本研究利用原子轉移自由基聚合法(atom transfer radical polymerization,ATRP),在矽晶片上接枝聚合圖案化聚苯乙烯(polystyrene,PS)高分子刷;首先利…
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本實驗分為兩個部分,第一部份利用原子轉移自由基聚合(Atom Transfer Radical Polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓製備表面起始聚甲基丙烯酸N,N-二甲氨基乙酯(…
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本實驗使用原子轉移自由基聚合法(Atom transfer radical polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓表面進行表面起始聚合(Surface-initiated poly…
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本論文研究的奈米材料為二維的GaSe奈米帶。第一部分,為GaSe奈米帶的製備,首先,以原子百分比Ga:Se=55:45配置Ga金屬錠及Se粉末總共5 g接著放入40 cm的石英管內,於抽氣真空的狀態…
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不論是筆記型電腦或數位相機等消費性電子產品在現代人的生活中皆是不可或缺的必需品,並往輕薄短小的目標邁進。因此,如何在矽晶圓上製作奈米尺寸之圖案,成為縮小電子元件之關鍵技術。 本論文提出的掃描探針微影…